今天我們來了解下油擴散泵是高真空系統經常使用的泵種，采取哪一些技術措施可以輕松獲得超高真空，其中有以下幾個方法：

一、選用性能好的擴散泵油

泵油對油擴散泵極限壓力的影響很大。如使用3號擴散泵油，其極限壓力只能達到10-5Pa；而改用275硅油，其極限壓力能達到10-7Pa，極限壓力提高2個數量級。其次被抽氣體的分壓力也隨泵油的不同而變化，這就是泵油成分帶來的影響。為此用油擴散泵獲得超高真空，必須選擇性能好的擴散泵油。

對擴散泵油的要求是：泵油的相對分子量要大，常溫下的蒸汽壓要低，熱穩定性和抗氧化性要好，凝固點和低溫粘度要低，要無毒，耐腐蝕，成本要低。

二、增加冷阱裝置，防止泵油返流和遷移

泵油通過泵的入口流到被抽容器的現象叫做反流。油分子沿著器壁移動進入被抽容器的現象，叫做反遷移。無論反流，還是反遷移，都影響真空系統的極限壓力。冷阱廣泛用于超高真空系統，它裝在泵入口和真空室之間，不僅能有效地捕集擴散泵的返流蒸氣及部分分裂解物，而且可抽除來自真空室的蒸汽。裝上液氮冷阱后，油擴散泵的抽速降低不高于40%。常用的冷阱是液氮冷阱，因為在液氮的溫度下，機器的泵油的蒸氣壓力大大低于超高真空度的要求，設計增加液氮冷阱必須保證通過阱的分子都會碰到冷面上，同時結構要合理。

三、采用合理的烘烤技術

材料不同，選擇的烘烤溫度也不同。原則是溫度高一些好，可以加速出氣，但還要考慮到材料是否能經受得住高溫。烘烤溫度要選擇合適。通常金屬材料，如不銹鋼，烘烤溫度為250℃—450C;非金屬材料烘烤溫度為80℃—100℃。烘烤時間4h—8h以上。極高真空的烘烤時間在24h以上。典型金屬油擴散泵系統(烘烤后)的性能和金屬油擴散泵超高真空系統中剩余氣體組分。

用油擴散泵獲得超高真空系統都要進行高溫烘烤。采用這樣的方式，目的是為了減少材料的出氣速率。材料在大氣下都能吸收和吸附一些氣體，當處于真空中時，便產生解吸使氣體可以得到緩慢地釋放出來，為了加速解吸所可以采用烘烤的方式。